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研究优势

发布时间:2020-09-27

项目团队在国家自然科学基金面上项目(51173181、51373166、51973212),吉林省科技发展计划国际科技合作项目(20160414032GH)等国家级和省级项目的长期支持下,针对电子束光刻胶以及嵌段共聚物引导自组装等开展了深入的研究工作,并取得了一系列的研究成果。项目团队自主研发的电子束光刻胶与商业化电子束光刻胶的性能相当,并实现了自主研发电子束光刻胶在嵌段共聚物图案化研究中的应用。







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