________________________________________
厂 家： 华海清科
型 号： Universal300B
主要技术指标：
抛光样品尺寸：8寸、12寸晶圆
抛光头转速：≤140rpm，误差≤1%
抛光头加压方式：分区加压控制
研磨台直径：30inch（762mm）
具备晶圆实时在位监测功能、终点监测功能
电 话： 020-82879876
主要技术指标：
抛光样品尺寸：8寸、12寸晶圆
抛光头转速：≤140rpm，误差≤1%
抛光头加压方式：分区加压控制
研磨台直径：30inch（762mm）
具备晶圆实时在位监测功能、终点监测功能
应用情况
Universal 300B 为化学机械抛光机，利用磨损中“软磨硬”原理，实现被抛光表面物质高效及高质量去除，从而满足被抛光面局部平坦化和全局平坦化工艺要求，配备8寸、12寸两个抛光头，可实现8寸、12寸晶圆的平坦化加工，适用于氧化物、氮化物等介质材料，以及铜、钨等金属材料进行表面平整化处理。
地址：广东省广州市黄埔区新龙镇航空轮胎大科学中心-广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
电话: 020-89851124
Copyright © 2020 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院. All Rights Reserved. 粤ICP备2020096138号