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厂 家： 东信高科
型 号： TS-Tech plasma
主要技术指标：
真空度范围：0.02-0.03mbar
处理气体：O2、Ar2、N2，H2、CF4
表面处理深度： 10-1000Å
电源功率：射频电源0-600w；中频电源0-2000w
电 话： 020-82879876
主要技术指标：
真空度范围：0.02-0.03mbar
处理气体：O2、Ar2、N2，H2、CF4
表面处理深度： 10-1000Å
电源功率：射频电源0-600w；中频电源0-2000w
应用情况
等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。
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