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厂 家： 中国科学院光电技术研究所
型 号： URE-2000/30
主要技术指标：
曝光面积：4英寸
曝光波长：365nm或248nm
分辨率：0.8-1 μm
掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸和5英寸
汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）
联 系 人： 梁国涛电 话： 020-82879876
主要技术指标：
曝光面积：4英寸
曝光波长：365nm或248nm
分辨率：0.8-1 μm
掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸和5英寸
汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）
联 系 人： 梁国涛
应用情况
主要用于实验室i线/KrF光刻胶等曝光性能的研究中。
地址：广东省广州市黄埔区新龙镇航空轮胎大科学中心-广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
电话: 020-89851124
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