场发射扫描电子显微镜
厂 家: | 日本电子(JEOL) |
型 号: | JSM-IT800 |
主要技术指标: | 二次电子像分辨率:15kV时≤0.5nm;1kV时≤0.7nm |
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背散射电子像(BSE)分辨率:15 kV时≤2nm |
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加速电压:0.01kV~30kV连续可调,最小电压≤0.02kV |
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分析束流:1pA~500nA(30kV),1pA~100nA(5kV) |
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物镜:无漏磁设计 |
联 系 人: |
梁国涛 |
电 话: | 020-89851124 |